1.Photolithography
리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트 제거에 이르는 일련의 프로세스이다. 현상까지를 레지스트 처리공정으로 하며, 에칭 공정과 분리해서 생각할 수도 있다. 현재, 패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전
electron beam)을 표본의 표면에 주사한다. 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기(detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(cathod ray tube)에 상을 형성한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도
ML2 means the maskless lithography. It is necessary to refinement process. Described above, "double / mutiful patterning" in additional cost savings as an alternative to be appropriate. Nano devices with decreasing the size of the unilateral use light to produce a mask for the lithography process takes time and cost. Small production of nano scale patterning process is suitable, and the suitable
1. Introduction
1) Definition of preservation and food-spoilage micro-organisms
Food preservation is the process of treating and handling food to stop or greatly slow down spoilage (loss of quality, edibility or nutritive value) caused or accelerated by micro-organisms. Some methods, however, use benign bacteria, yeasts or fungi to add specific qualities and to preserve food (e.g., cheese, wine
contacted two professors: Professor Yehoon Lee and Professor Heejune Ahn from Seoul National University of Technology. The first interviewee, Prof. Yehoon Lee is an associate professor in the Department of Electronic and Information Engineering, whose major and research interests are mobile wireless communication, broadcast communication, CDMA/OFDM Modem, an theories on digital communication. He
1. 전기자동차 배터리의 역사
자동차 배터리의 역사는 비록 배터리의 역사의 비해서 길지는 않지만 많은 발전을 겪어왔다. 1832년 스코틀랜드 발명가인 Robert Anderson이 처음으로 자동차 배터리를 개발 하였으나, 이 배터리의 경우는 충전이 불가능 하였다. 이후 1859년 개발된 납-산 배터리의 경우는 충전
1. 정의
1) 정상 보행 (Normal gait)
보행은 협응, 균형, 운동감각, 고유수용감각, 관절 및 근육의 통합작용 등이 요 구되는 고도의 조화를 이루는 복잡한 운동으로(Norkin과 Levangie, 1982), 정상 보행이란 하지와 골반, 체간의 조화된 관절 움직임과 근육 활동으로 적은 에너지 를 소모하면서 부드
Ⅰ. 개요
경제발전과 더불어 난방 및 취사연료의 형태가 전기, 가스, 유류 등으로 변화되었고 에너지의 다양화와 각종 위험물질의 증가에 따른 화재발생은 날로 증가되고 있는 실정이며, 최근 발생한 화재를 원인별로 보면 전기, 담배, 방화, 불장난, 불티, 가스, 유류 등이 주요원인으로 되어있다. 또